坩埚的夹取
1. 坩埚夹钳的尺寸必须和坩埚大小相匹配,且夹钳内部必须全部接触坩埚
2. 夹钳在夹取坩埚过程中把柄不能对坩埚的上沿有挤压,
3. 夹钳夹取坩埚的中部偏下位置,使整个坩埚受力均匀。
以上几点如不注意,容易过早的损坏坩埚或造成安全事故
火焰的控制
1. 火焰的高度与底座持平,沿底座的切线方向进入,先绕过底座,然后围绕坩埚盘旋上升。
2. 为保护坩埚釉层,避免坩埚氧化,火焰应为轻微的氧化性气氛(燃油炉的火焰头部呈现淡绿色)。
3. 为保证坩埚整体的均匀加热,避免某个部位过热,应使用合适的燃烧器和燃烧喷嘴,且火力不能过大。
坩埚与支撑砖间的空隙:
1.坩埚与支撑砖间的空隙太小,坩埚受热膨胀后会受阻裂开,可在坩埚和炉壁顶部支撑砖间直接放置可燃物(插入小木片或纸板),长沙粘土石墨坩埚,在坩埚加热后,可燃物会燃烧掉从而留下足够的空间。
2.对于在侧面排废气的炉子,坩埚和炉壁之间可以用保温棉密封,然后用耐高温水泥固定。这样既可以防止因炉顶没有完全密封,而使坩埚顶部氧化而裂开,且在坩埚受热向上膨胀时不会受阻裂开,更起到保护发热丝的作用。
(注:建议使用炉沿盖来防止坩埚的氧化,顶部开裂和腐蚀。炉沿盖的内边要覆盖住坩埚内表面100mm处,能更好地避免坩埚受到外力撞击和被氧化。)
3.在倾转炉中,应该在坩埚一半高度的位置上,有一块或两块支撑砖在浇嘴的下方把坩埚固定。应在坩埚和支撑砖之间放入纸板,粘土石墨坩埚价格,以保留足够的空间防止坩埚膨胀时受阻。
坩埚的使用注意事项:
1、坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明坩埚是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达国家已用此坩埚取代了小的透明坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
2、石英质脆,易破,粘土石墨坩埚定制,使用时要注意。
3、除HF外,普通稀无机酸可用作清洗液。国内常用拉制单晶硅用石英坩埚18英寸和20英寸也有厂家使用22及以上的坩埚。目前国内坩埚生产厂家生产的18和20英寸坩埚技术都比较成熟。其生产使用原料石英砂主要由美国进口。国内产的石英砂纯度都达不到其要求。其原料里杂质在生产时高温熔制过程中产生黑点气泡等 对拉制单晶硅时其稳定性都有一定影响。
4、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。
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